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友達(dá)光電用氧化物TFT開發(fā)出37英寸全高清液晶面板

發(fā)布時(shí)間:2010-02-04 來源:電子元件技術(shù)網(wǎng)

產(chǎn)品特點(diǎn):

  • 非晶氧化物半導(dǎo)體的TFT試制出了全高清液晶面板


臺(tái)灣友達(dá)光電(AU OptronicsAUO)用基于透明非晶氧化物半導(dǎo)體(TAOS)的TFT(TAOS-TFT)試制出了全高清(1920×1080像素)37英寸液晶面板。TAOS-TFT液晶面板開發(fā)事例此前最大尺寸止步于20英寸以下,此次一舉實(shí)現(xiàn)了大尺寸化。AUO預(yù)定在2010年5月于美國(guó)舉辦的“Society for Information Display 2010(SID 2010)”上展出試制品。

試制面板使用的TAOS-TFT,是將源電極和漏電極設(shè)在溝道側(cè)面的同一平面(coplanar)型,溝道材料為非晶IGZO(In-Ga-Zn-O)。AUO在演講中出示的TAOS-TFT試制結(jié)果顯示,以柵極寬度和長(zhǎng)度分別為22μm和5μm的元件,實(shí)現(xiàn)了載流子遷移率10~13cm2/Vs,開/關(guān)比108以上的良好特性。即便是經(jīng)常碰到的TAOS-TFT元件特性不穩(wěn)定問題,也通過在IGZO成膜后實(shí)施N2O等離子處理以及改善鈍化方法等使其得到了控制。

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