中心議題:
- Keithley推出系列高性價(jià)比測(cè)試儀器和解決方案
- 2401型源測(cè)量單元:低電壓測(cè)試的高性價(jià)比方案
- 2200系列通用電源:實(shí)現(xiàn)經(jīng)濟(jì)性的高精度測(cè)量
- KET 5.3:新版軟件幫助客戶提升晶圓測(cè)試吞吐量
吉時(shí)利公司(Keithley)日前發(fā)布包括數(shù)字源表(SMU)、可編程通用電源和半導(dǎo)體測(cè)試軟件在內(nèi)的系列2011年秋季新產(chǎn)品。在這些新產(chǎn)品中,一個(gè)突出的特點(diǎn)就是——產(chǎn)品都以為客戶提供經(jīng)濟(jì)性的測(cè)試測(cè)量解決方案為主要賣點(diǎn),Keithley公司也希望能夠通過本次系列產(chǎn)品的推出,體現(xiàn)出公司在提供高性價(jià)比的競爭性測(cè)試儀器和解決方案方面的能力。
2401型源測(cè)量單元:低電壓測(cè)試的高性價(jià)比方案
Keithley在源測(cè)量單元(SMU)方面一直是占據(jù)領(lǐng)導(dǎo)性地位的廠商,其以往的產(chǎn)品線可以覆蓋源測(cè)量領(lǐng)域廣泛的需求。其最新推出的2401型SMU,被定位于專為低電壓測(cè)試而優(yōu)化的低成本方案,主要針對(duì)光伏(太陽能)電池、高亮度LED(HBLED)、低壓材料和半導(dǎo)體器件的電流與電壓(I-V)特性分析以及電阻測(cè)量等高精度測(cè)試應(yīng)用。2401型SMU的量程范圍是1A/20V,在操作和編程方面與2400系列的其它產(chǎn)品完全相同,在一個(gè)機(jī)殼中集成了高度穩(wěn)定的直流電源和真儀器級(jí)5位半或6位半萬用表。在使用時(shí),2401可用作電壓源、電流源、電壓表、電流表和歐姆表,并提供4象限雙極和自動(dòng)源/阱操作。參見吉時(shí)利SMU約定,工作在I與V的1或3象限時(shí)作為源,向負(fù)載提供功率。工作在2或4象限時(shí)作為阱,消耗外部源(例如PV電池或其它能源)的功率。
圖注:Keithley的2401型源測(cè)量單元可實(shí)現(xiàn)低電壓測(cè)試的高性價(jià)比方案
吉時(shí)利市場(chǎng)經(jīng)理Charles Cimino認(rèn)為,2401型SMU是測(cè)試和測(cè)量行業(yè)里既具有完整測(cè)量量程、功能和可編程工作模式,而又是售價(jià)最低的單機(jī)源-測(cè)量儀器,可以為那些可編程電源精度不足、信號(hào)范圍或分辨率達(dá)不到要求的應(yīng)用提供最經(jīng)濟(jì)的替代測(cè)試方案。”
由于具備低成本、緊密集成性和寬動(dòng)態(tài)范圍,因此在Keithley提供的2401典型應(yīng)用的清單中,包含了眾多低電壓要求和硬件測(cè)試預(yù)算受限的各種臺(tái)式和系統(tǒng)應(yīng)用,如:
• 高亮度LED正向/反向I-V(電流-電壓)和LIV(光-電流-電壓)測(cè)試
• 光伏電池效率測(cè)試(源和阱電流)
• 精密直流負(fù)載特性分析,取代通常準(zhǔn)確度不夠(IDDQ測(cè)試)的回讀供電或供電/DMM組合
• 其它應(yīng)用包括:
- 有源/無源器件測(cè)試,電壓/電流/電阻測(cè)量
- 便攜電子器件的電池工作驗(yàn)證
- 分析可植入式醫(yī)療器件(如起搏器等)
- 分析低漏電電子器件/電路特性(正向/反向、晶體管增益/漏電)
- 校準(zhǔn)3位半至4位半數(shù)據(jù)采集板、儀表和DMM
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2200系列通用電源:實(shí)現(xiàn)經(jīng)濟(jì)性的高精度測(cè)量
Keithley以往的可編程電源產(chǎn)品2300系列,主要用于無線通信領(lǐng)域的測(cè)試測(cè)量,十分強(qiáng)調(diào)儀器的性能,特別是瞬態(tài)響應(yīng)的性能。而在新推出的2200系列可編程通用電源產(chǎn)品中,可以看出Keithley電源產(chǎn)品開發(fā)思路的一個(gè)變化——將高性能與經(jīng)濟(jì)性和易用性做完美的融合。
圖注:2200系列通用可編程電源提供了經(jīng)濟(jì)性高性能測(cè)量解決方案
在繼承了Keithley以往電源產(chǎn)品的高性能基因基礎(chǔ)上,2200系列通用電源突出的特性表現(xiàn)在:
輸出準(zhǔn)確度高:2200系列電源的電壓輸出準(zhǔn)確度指標(biāo)為0.03%,電流輸出準(zhǔn)確度指標(biāo)為0.05%,這兩項(xiàng)指標(biāo)比同類通用電源好很多。此外,高輸出(1mV)和測(cè)量(0.1mA)分辨率使其非常適于測(cè)量空閑模式和休眠模式電流等應(yīng)用的低功率電路和器件的特性分析,以確保器件滿足當(dāng)今更具挑戰(zhàn)性的能源效率目標(biāo)。此外,背板的遠(yuǎn)程感測(cè)端子和低于5mVp-p的噪聲能保證設(shè)置電壓等于電源實(shí)際輸出的電壓。雙線路顯示器能顯示設(shè)置值和實(shí)際輸出值,以便連續(xù)指示傳至負(fù)載的功率狀態(tài)。
操作靈活:2200系列電源包含增強(qiáng)操作多功能性等各種特點(diǎn)。例如,每個(gè)型號(hào)都提供40個(gè)板上存儲(chǔ)位置用于保存經(jīng)常使用的測(cè)試設(shè)置,以便后來調(diào)用和重用。此外,內(nèi)建的目錄模式功能支持設(shè)置和存儲(chǔ)7種定制測(cè)試序列里最多80個(gè)步驟。序列保存以后,可以使用儀器的前面板密鑰手動(dòng)觸發(fā)運(yùn)行,通過外部觸發(fā)器自動(dòng)運(yùn)行,或通過可編程接口指令運(yùn)行,而同類通用電源沒有此功能。
保護(hù)被測(cè)器件(DUT):2200系列有幾種功能可保護(hù)DUT在測(cè)試過程中不被損壞,包括設(shè)置電壓極值以防電源輸出過高電壓(即使電壓高于輸入儀器的極值)以及設(shè)置過壓功能在達(dá)到過壓極限時(shí)輸出低于1V。這些極值還包括電流極限設(shè)置功能以控制流入DUT的電流幅度。另外,可編程定時(shí)器能在指定時(shí)間間隔內(nèi)關(guān)閉輸出,所以可將測(cè)試預(yù)先設(shè)置為無人模式,在一段持續(xù)時(shí)間內(nèi)不必?fù)?dān)心DUT電壓或功率過大。
易用性:2200系列電源提供了調(diào)節(jié)電源電壓和電流設(shè)置的多種方法,包括前面板的直接輸入數(shù)字鍵盤。此外,可調(diào)節(jié)步長的旋鈕簡化了研究被測(cè)器件(DUT)對(duì)電壓或電流變化的響應(yīng)。2200系列電源可以通過標(biāo)準(zhǔn)GPIB或USB接口輕松控制。USB接口兼容測(cè)試和測(cè)量類(TMC),所以用戶能利用標(biāo)準(zhǔn)SCPI命令語法,還包括標(biāo)準(zhǔn)儀器驅(qū)動(dòng)程序簡化電源到自動(dòng)測(cè)試環(huán)境的集成。
目前,2200系列產(chǎn)品提供五種型號(hào),相關(guān)型號(hào)的供最大電壓、電流和功率輸出如下:
• 2200-20-5型:20V, 5A, 100W
• 2200-30-5型:30V, 5A, 150W
• 2200-32-3型:32V, 3A, 96W
• 2200-60-2型:60V, 2.5A,150W
• 2200-72-1型:72V, 1.2A, 86W
KET 5.3:新版軟件幫助客戶提升晶圓測(cè)試吞吐量
KTE是Keithley從上個(gè)世紀(jì)80年代就推出的一款強(qiáng)大的測(cè)試開發(fā)和運(yùn)行軟件平臺(tái),目前全球有數(shù)百家半導(dǎo)體晶圓廠都在使用吉時(shí)利前幾代的參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)。目前Keithley推出了該軟件的最新版本KTE V5.3。Keithley表示,這一軟件版本,不但可以配合其最新的S530半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)在最苛刻的生產(chǎn)環(huán)境中實(shí)現(xiàn)了靈活的測(cè)試計(jì)劃開發(fā)和高速測(cè)試,對(duì)于以前使用吉時(shí)利S400和S600系列參數(shù)測(cè)試儀用戶,也可通過使用KTE V5.3提升測(cè)試效率,并且現(xiàn)有測(cè)試儀和新的S530系統(tǒng)可以共享同一個(gè)測(cè)試計(jì)劃,降低測(cè)試的綜合成本。
對(duì)于已經(jīng)使用KTE較早版本的客戶來說,KTE V5.3可加速并簡化S530測(cè)試系統(tǒng)到測(cè)試平臺(tái)的集成。具體來講:
• 同一種測(cè)試方法和測(cè)試方案適用于所有吉時(shí)利自動(dòng)參數(shù)測(cè)試系統(tǒng),這不僅縮短了使用多個(gè)系統(tǒng)的測(cè)試工程師和操作人員的學(xué)習(xí)過程,而且在測(cè)試平臺(tái)增加新的高速系統(tǒng)或取代較早平臺(tái)時(shí)提供平滑的移植路徑以保護(hù)晶圓廠的測(cè)試開發(fā)投入。
• 用戶只需重新編譯和重新生成多年來為更早的吉時(shí)利系統(tǒng)開發(fā)的常用用戶庫,就能繼續(xù)在S530上使用這些用戶庫。通常,只需進(jìn)行少量調(diào)試。
• KTE V5.3簡化了創(chuàng)建條件測(cè)試序列的新用戶訪問點(diǎn)(UAP)源代碼以及定制S530的系統(tǒng)工作流程。為早期吉時(shí)利系統(tǒng)開發(fā)的UAP源代碼適用于S530系統(tǒng),只需作少量調(diào)整。
• KTE的工具對(duì)吉時(shí)利所有參數(shù)測(cè)試平臺(tái)都具有完全相同的功能性。
Keithley系統(tǒng)通過保持軟件兼容性的承諾,確保移植路徑更為平滑并能在測(cè)試平臺(tái)上加入更新、更高速測(cè)試儀以保護(hù)晶圓廠的測(cè)試軟件投資。