【導(dǎo)讀】本文利用濕敏電容制備的濕度傳感器,實現(xiàn)靈敏度高、產(chǎn)品互換性好、響應(yīng)速度快、濕度的滯后量小、便于制造、容易實現(xiàn)小型化和集成化。
濕敏元件及變送器芯片特性
目前, 生產(chǎn)濕敏電容的主要廠家是法國Humirel 公司。它生產(chǎn)的HS1101 測量范圍是0%~100%RH,電容量由162PF 變到200PF,其誤差不大于±2%RH;響應(yīng)時間小于5S;濕度系數(shù)為0.34PF/℃;年漂移量0.5%RH/年,長期穩(wěn)定。圖1 為HS1101 濕敏電容的濕度-電容響應(yīng)曲線。
濕度變送器采用了美國 BB 公司生產(chǎn)的XTR105芯片,該變送器具有以下特點:
a 工作范圍寬;
b 測量精度高;
c 電路簡單;
d 可靠性好,使用壽命長;
e 抗干擾能力強;
f 工作溫度范圍寬(-40~+85℃)
圖1:HS1101濕度-電容響應(yīng)曲線
濕度測量電路
HS1101在電路中相當(dāng)于一個電容器件,它的電容量隨著所測空氣濕度的增加而增大,為了能將電容的變化轉(zhuǎn)換成電壓的變化,我們設(shè)計了振蕩電路、消除零點電容影響電路、整流電路、積分電路、電壓—電流轉(zhuǎn)換電路、放大電路等,其工作原理簡圖如圖2 所示。
圖2:濕度檢測原理
振蕩電路
振蕩電路的作用是將電容的變化量轉(zhuǎn)化為頻率可變的方波。由圖3 可知,這是一個非對稱多諧振蕩器?;蚍情TG1 工作在電壓傳輸特性的轉(zhuǎn)折區(qū),把它的輸出電壓直接連接到或非門G2 的輸入端。G2即可得到一個介于高低電平之間的靜態(tài)偏置電壓,從而使G2 的靜態(tài)工作點也處于電壓傳輸特性轉(zhuǎn)折區(qū)上。反饋環(huán)路中電容使電路在兩個暫穩(wěn)態(tài)之間往復(fù)振蕩。
圖3:多諧振蕩電路
消除零點電容
需要指出的是,圖3 所示的濕度傳感器零點電容比較大,靈敏度不夠高,濕度從0%~100%RH,電容的變化量不超過30~50PF。為此,最好將零點電容消除掉,在實際設(shè)計中我們用兩片CMOS4001 集成電路對圖3 進行改造,具體見圖4。
圖4:濕度檢測振蕩電路
只要調(diào)整C 的脈沖寬度,就可以得到D 的脈沖寬度,從而可以消除零點電容,經(jīng)過調(diào)制的電容變化信號也就是濕度信號。將同一封裝內(nèi)的門電路U2A、U2B、U2C、U2D 并聯(lián)使用,可以擴大CMOS 門電路輸出低電平時吸收負載電流的能力。
圖5:振蕩電路波形
線性輸出信號調(diào)理
電路濕度的脈沖信號再經(jīng)過后面的二極管整流、RC積分電路,得到隨溫度變化的電壓。由于信號比較微弱,再經(jīng)過一個同向比例放大器把信號放大,最終把信號調(diào)理為0~3V的輸出。
濕度變送器的設(shè)計
在工業(yè)現(xiàn)場,采集到的信號經(jīng)長線傳輸時,往往會產(chǎn)生以下問題:由于傳輸?shù)男盘柺请妷盒盘?,傳輸線會受到噪聲的干擾;傳輸線的分布電阻會產(chǎn)生電壓降。為了解決這些問題,通常用電流來傳輸信號,這就用到了變送器。
本文采用了美國BB 公司生產(chǎn)的XTR105 作為濕度變送器的芯片,把濕度傳感器輸入的0~3V 電壓轉(zhuǎn)換為4~20mA 的電流信號輸出。其電路如圖7 所示。
圖6:濕度變送器電路圖
輸出的0~3V 電壓通過XTR105 芯片的2 和13 引腳輸入。調(diào)整3 和4 引腳間的電阻RG和RG1 的值,可以改變XTR105 芯片的內(nèi)置儀表放大器增益值,從而選定合適的測量范圍。RCM 取為1KO,它提供一個附加電壓降,使XTR105 的輸入電壓限制在共模方式下的電壓范圍內(nèi)。與RCM 并聯(lián)的0.01μF 旁路電容用于降低共模噪聲。
三極管Q1 是4~20mA 電流回路的主要電流傳導(dǎo)器件,用于吸收回路中的大部分電流。該器件將外部電源電流與XTR105 的內(nèi)部消耗嚴(yán)格分開。由于外接三極管位于反饋回路中,其參數(shù)不能在臨界點。
當(dāng)電源電壓低于36V 時,功耗可低一些。IN4048 接成的橋式電路可以保證XTR105 的電源極性不反接,從而真正實現(xiàn)兩線制。C2 為去耦電容,其值是0.01μF,用于降低高頻干擾。負載RL 用于將傳送的4~20mA 的電流轉(zhuǎn)換為電壓,供后級處理。選擇負載阻抗RL,應(yīng)使得輸出在4~20mA 范圍內(nèi)變化時,引腳7 和引腳8 之間的電壓保持在11.6V~40V 的電源電壓范圍內(nèi)。
結(jié)語
我們對所設(shè)計的濕度傳感器進行了準(zhǔn)確度測量。將濕度傳感器置入TERCHY 公司的MHU-SA 恒溫恒濕箱內(nèi),用VAISALA 公司的HMP143A 高精度濕度測量儀及萬用表對濕度傳感器輸出信號進行測量,結(jié)果見表1。從表1 的測試結(jié)果可以看出:該傳感器的測量準(zhǔn)確度達到了±2.5%以內(nèi)。